檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "Polyimide".ekeyword (精準) and ckeyword.raw="奈米雙晶銅圖案化晶圓"
個人化服務 :
排序:
每頁筆數:
已勾選0筆資料
1
本研究透過交錯式電極最佳化設計,以優化電致動力輔助化學機械平坦化製程(Electro-Kinetic Force Chemical Mechanical Planarization, EKF-CMP…